進(jìn)入無塵車間前之注意事項(xiàng)

a、任何人進(jìn)入無塵車間工作或參觀，須依規(guī)定換穿無塵衣。

b、非經(jīng)無塵車間主管許可不得將私人物品（手提袋、書籍等）及非潔凈室所使用之工具攜入無塵車間；維修用之手冊及工具在用畢后應(yīng)立即收起。

c、原物料進(jìn)無塵車間時(shí)，需先在外面拆箱及拭凈，并置于貨物風(fēng)淋室攜入無塵車間。

d、無塵車間、辦公區(qū)均為禁煙區(qū)，若有吸煙，須于抽后并漱口后，方可進(jìn)入無塵車間。

e、在無塵車間內(nèi)，不得飲食、嬉鬧，或從事其它與生產(chǎn)無關(guān)的事情。

f、進(jìn)入無塵車間者應(yīng)保持身體潔凈，頭發(fā)應(yīng)常梳洗，并禁止使用香水及化妝品。

g、進(jìn)入無塵車間內(nèi)不得穿著短褲及布鞋、襪子。

無塵車間安全守則

1.一般守則：

a、在無塵車間工作時(shí)必須確切地了解每一個(gè)工作站可能發(fā)生的危險(xiǎn)及應(yīng)采取之安全防護(hù)工作。

b、善加使用一些防護(hù)設(shè)備如眼鏡、手套等等。

c、在工作的區(qū)域應(yīng)保持清潔。

d、所有化學(xué)品應(yīng)詳加標(biāo)示。

e、使用化學(xué)品后雙手需洗凈方能飲食或抽煙。

f、處理廢棄物時(shí)應(yīng)遵守有關(guān)廢棄物處理之規(guī)定。

g、熟悉緊急應(yīng)變的步驟及工作區(qū)域之緊急應(yīng)變設(shè)備（如滅火器，逃生呼吸器等）之放置位置。

凈化廠房原理　　

氣流—初效空氣處理—空調(diào)—中效空氣處理—風(fēng)機(jī)送風(fēng)—凈化管道—送風(fēng)口—潔凈室—帶走塵埃—回風(fēng)夾道—新風(fēng)。

不同等級設(shè)計(jì)參數(shù)：　　

換氣次數(shù)：十萬級10-15次/小時(shí)；萬級15-25次/小時(shí)；千級50-52次/小時(shí)；百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s

壓差：主凈化車間對相鄰車間≥5Pa

溫度：冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；

相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；

新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％；

照度：≥300Lux。

如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方，如供暖，通風(fēng)和空調(diào)（HVAC），過程冷卻，壓縮空氣和一些其他設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個(gè)晶圓制造設(shè)施的一半。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計(jì)和建造的捷徑，盡可能地壓縮初始投資，而不管后期的運(yùn)營成本。的設(shè)計(jì)和的設(shè)備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。進(jìn)入無塵車間前之注意事項(xiàng)a、任何人進(jìn)入無塵車間工作或參觀，須依規(guī)定換穿無塵衣。