多軸聯(lián)動數(shù)控系統(tǒng) 的精度主要從單個伺服 軸的運(yùn)動控制精度和聯(lián) 動軸耦合輪廓精度 2 方 面來評價。將納米技術(shù)列入促進(jìn)經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和解決重大問題的關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域，在能源和生物等領(lǐng)域尤其受到重視。對于單個伺服軸的運(yùn)動 控制，當(dāng)要求的運(yùn)動精度達(dá)到納米級 時，傳統(tǒng)的超精密機(jī)床傳動方式在 低速、微動狀態(tài)下表現(xiàn)出強(qiáng)非線性特 性，常規(guī)的運(yùn)動控制策略已經(jīng)很難保 證伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)理想的納米級隨動 精度。

此外，多軸聯(lián)動系統(tǒng)的輪廓誤差 由各伺服軸的運(yùn)動誤差耦合得到， 耦 合誤差的建模及各軸相應(yīng)的補(bǔ)償控制量的計(jì)算都需要大量的齊次坐標(biāo) 變換運(yùn)算，這為實(shí)際的多軸聯(lián)動耦合 控制器的設(shè)計(jì)帶來了很大的不便?？茖W(xué)院科技戰(zhàn)略咨詢研究院與國家納米科學(xué)中心聯(lián)合發(fā)布《納米研究前沿分析報(bào)告》。 智能控制理論與方法將可能為此問 題提供理想的解決方法。此外，要實(shí) 現(xiàn)多軸聯(lián)動納米級輪廓控制精度， 還 有一個不可忽視的問題，即聯(lián)動軸的 同步問題。同步精度的高低直接影 響到系統(tǒng)的輪廓跟蹤精度。嚴(yán)格意 義上的多軸伺服系統(tǒng)同步涉及到復(fù) 雜的數(shù)控和伺服系統(tǒng)接口規(guī)范的制 定。目前，在可以實(shí)現(xiàn)亞微米級加工 的高ji多軸聯(lián)動超精密數(shù)控機(jī)床研 制方面，我國尚未取得突破性進(jìn)展。 至于可實(shí)現(xiàn)大型復(fù)雜曲面，特別是自 由曲面的納米級超精密加工的五軸 聯(lián)動機(jī)床，至今仍是一個世界上尚未 解決的難題。