現(xiàn)代真空熱處理均具有自動微處理器控制，以確保零件均按照確切的特定設計要求進行處理。通過程序控制，可以確保每次運行都重復與以前的負載相同的處理，并且長時間的圖形圖表可確保每項工作的可追溯性。

熱電偶和電離真空計可連續(xù)監(jiān)控爐內溫度和氣氛的質量，并互鎖安全功能，以防止意外損壞用戶零件。

為了更大程度地減少停機時間并在出現(xiàn)故障時迅速制定交付計劃，提供了經過校準和認證以匹配主要設備的備用監(jiān)控設備。

為了保持工廠清潔，以保持工廠大氣不受污染，做出了更加的努力。在釬焊高質量組件時，這一點尤其重要。

對模具壽命影響的是模具的設計(包括了正確的選擇材料)模具的材料，模具的熱處理，模具的使用和維護等。如果模具的設計合理，材料好，那么熱處理的好壞直接決定了模具的使用壽命。目前國內外都在設法采用更先進的熱處理手段來提高模具的性能延長模具的使用壽命。而真空熱處理則是模具熱處理中較先進的方式之一。所以從模具熱處理來看，熱處理加工設備的狀態(tài)、熱處理的工藝、生產過程的控制顯得尤為重要。


真空滲碳比可控氣氛爐滲碳的產品質量好，對于要控制淬火變形的齒輪滲碳，在用可控氣氛爐滲碳后需要用淬火壓床進行邊淬火邊矯正，其質量有時還達不到技術要求，況且滲碳層的滲層和碳濃度分布均勻性較難得到保證，經常會出現(xiàn)內氧化現(xiàn)象，造成非馬氏體黑色組織的出現(xiàn)，生產率有時也會受到影響，所以對于質量要求較高的摩托車、汽車減速器、汽車發(fā)動機等部件內的中小型齒輪及齒輪軸等工件的滲碳。


水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。采用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現(xiàn)象。