什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。②在進(jìn)口端置一金屬（或塑料）網(wǎng)，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器

選擇產(chǎn)品和訂貨時應(yīng)當(dāng)注意什么？

這一點關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣（標(biāo)定氣體）等價的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標(biāo)定，請向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題，以下還有進(jìn)一步解答。

C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實際使用的流量值應(yīng)接低于某個標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實際流量較小而量程值選取過大，則測量值的相對誤差較大。

注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)

不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。

質(zhì)量流量控制器（MFC）除工作壓力之外，還有另一項工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時要注意，使用時也要注意。

 注意選擇合適的精度指標(biāo)

準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標(biāo)不一定追求高，應(yīng)考慮自己的實際需要。

如果對廠家給出的指標(biāo)不放心，有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。