什么是流量控制器？

質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。②在進口端置一金屬（或塑料）網，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器

選擇產品和訂貨時應當注意什么？

這一點關系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應當衡量生產廠家的產品質量﹑銷售價格﹑售后服務﹑技術水平﹑產品特點﹑生產規(guī)模﹑企業(yè)信譽等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量（質量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質量流量轉換系數(shù)表，將您所用氣體的質量流量值換算成與氮氣（標定氣體）等價的質量流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標定，請向廠家說明。有關質量流量轉換系數(shù)的問題，以下還有進一步解答。

C. 確定所需標準量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標準量程，您實際使用的流量值應接低于某個標準量程值。標準量程的選取要避免過大或過小。質量流量的誤差指標是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實際流量較小而量程值選取過大，則測量值的相對誤差較大。

注意選擇正確的工作壓力指標

不同的產品工作壓力指標可能不同，注意選擇適合自己的產品。

質量流量控制器（MFC）除工作壓力之外，還有另一項工作壓力指標：工作壓差，即MFC進氣端和出氣端之間的壓差，選型時要注意，使用時也要注意。

 注意選擇合適的精度指標

準確度﹑線性﹑重復精度是比較重要的幾項指標，其中重復精度在很多應用場合尤為重要。指標不一定追求高，應考慮自己的實際需要。

如果對廠家給出的指標不放心，有條件的用戶也可以自己標定一下。標定的方法參見下面的有關內容。