自動(dòng)控制系統(tǒng):包括溫度控制

自動(dòng)控制系統(tǒng)：包括溫度控制，溫度控制，風(fēng)量風(fēng)壓控制，開(kāi)啟順序和時(shí)間控制;電氣系統(tǒng)：照明，電力和弱電，包括凈化燈，插座，電氣柜，線路，監(jiān)控，電話等強(qiáng)弱系統(tǒng);給排水系統(tǒng)：供水，排水管道，設(shè)施和控制裝置;地面系統(tǒng)：環(huán)氧樹(shù)脂通常用于清潔地面。 信封結(jié)構(gòu)系統(tǒng)：簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，它是頂部，墻壁和地面，即構(gòu)成三維受限空間的六個(gè)面。精美，包括門(mén)窗，裝飾弧等;管道系統(tǒng)：包括供氣，回風(fēng)，新風(fēng)，排風(fēng)管，端部和控制裝置;

潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)

潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)，是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一門(mén)綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括：空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

我國(guó)使用的0

我國(guó)使用的0.1微米十級(jí)潔凈室主要依賴從國(guó)外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬(wàn)美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來(lái)越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素

使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素 相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚，呼吸道不適以及情感上的不快。 高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累，較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。 相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。