六氟化硫制備：

以長約300mm直徑25mm的鎳管為反應器，將盛有硫粉的鎳舟置于其中，反應管與一石英阱連接，石英阱以液態(tài)氧冷卻。因此在電力系統(tǒng)GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設備。裝置的末端與一裝有新脫水的KF的鐵制干燥管相連，以隔離空氣中的濕氣。硫在氟氣流中燃燒，生成的產(chǎn)物凝聚在冷阱中。隨后進行純化，使產(chǎn)物氣化并通過10%的KOH熱溶液（不用NaOH）洗滌除去其中的雜質(zhì)（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。然后用P4O10干燥產(chǎn)物氣體，并在室溫下通過活性炭除去S2F10。

氣體監(jiān)測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設計戶內(nèi)通風裝置時要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設備。

1）電化學技術（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。但是如果SF6氣體質(zhì)量不合格，雜質(zhì)尤其是水分超標，出現(xiàn)六氟化硫微水過多的問題，在高壓電弧的作用下，就會生成亞硫酸、氫氟酸等有毒腐蝕性產(chǎn)物。電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應的化學反應，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。電化學技術其成本低、壽命長、結構簡單，可以連續(xù)工作的特點。

電子捕獲ECD原理

電子捕獲檢測器（electron capture detector)，簡稱ECD。純凈的六氟化硫是一種惰性氣體，在電弧作用下會分解，當溫度高達4000K以上時，大部分的分解物為硫和氟的單原子。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號，物質(zhì)的電負性越強，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性（無電負性）的物質(zhì)，如烷烴等則無信號。