十萬級無塵車間的建筑圍護(hù)界區(qū)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。無塵車間具有以下特性：一、無塵車間是空氣的潔凈度達(dá)到一定級別的可供人活動和生產(chǎn)的空間，其功能是能控制微粒的污染。十萬級無塵車間車間內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)平整、光潔、無裂縫、接口嚴(yán)密，無顆粒。

十萬級無塵車間內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)平整、光潔、無裂縫、接口嚴(yán)密，無顆粒物脫落，并應(yīng)耐清洗和耐酸堿，墻壁和地面、吊頂結(jié)合處做成弧形，踢腳不宜高出墻面，當(dāng)采用輕質(zhì)材料融斷時(shí)，應(yīng)采用防碰撞措施。

十萬級無塵車間的地面應(yīng)整體性好、平整、耐磨、耐撞擊、不易積聚靜電、易除塵清洗，地面墊層應(yīng)配筋，潮濕地區(qū)應(yīng)做防潮處理。

十萬級無塵車間的建筑圍護(hù)界區(qū)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。

技術(shù)夾層為輕質(zhì)吊頂時(shí)，設(shè)置檢修通道。建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)與整個(gè)送回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)并易于除塵。

千級無塵車間在設(shè)計(jì)上要考慮到以下幾個(gè)問題：

1、維護(hù)性

對千級無塵車間而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。 至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級。核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中1重要的為天花板，其包含HEPA及 ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間。

2、成本

微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。 許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。

3、適應(yīng)性

一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致1極大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將1初的設(shè)計(jì)定型。

4、耐久性

無塵車間要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。

5、清洗

無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性1病毒或細(xì)菌的污染之特性。在凈化工程市場，清洗真正地是一個(gè)1重要的企業(yè)。

1、無塵凈化車間工程必須與各專業(yè)工種間制定嚴(yán)格的施工程序，一般依次為：留洞打底、各專業(yè)安裝、內(nèi)門窗安裝、修補(bǔ)洞口及周邊，基層打底，飾面抹灰和罩面板工程，嵌縫處理，油漆刷漿工程和裱糊工程。這表明無塵車間的潔凈不是一般的干凈，而是達(dá)到了一定的空氣潔凈度級別。

2、在無塵凈化車間裝修施工過程中，必須隨時(shí)清掃灰塵，對隱蔽空間(如吊頂和夾墻內(nèi)部等)還應(yīng)做好清掃工作;

3、密封膠嵌固前，應(yīng)將基槽內(nèi)的雜質(zhì)，油污剔除干凈，并保持表面干燥。無塵車間工程臨時(shí)設(shè)置的設(shè)備入口不用時(shí)應(yīng)封閉，防止塵土雜物進(jìn)入。

4、應(yīng)保護(hù)已完成的凈化車間工程表面，不得因撞擊，敲打，踩1踏，多水作業(yè)等造成板材凹陷，暗裂和表面裝飾的污染。塑料板材或卷材面層鋪貼前應(yīng)預(yù)先按規(guī)格大小，厚薄分類，板材或卷材與地面之間應(yīng)滿涂粘接劑，表面趕平，不得漏涂或殘存空氣。

5、施工現(xiàn)場應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明，對于改建工程，應(yīng)查明和切斷原有電源及易1燃，易1爆和有毒氣體管線后方可施工，對工藝生產(chǎn)過程中使用的腐蝕性液體應(yīng)有安全防護(hù)措施。

6、對已安裝過濾器的房間，不得進(jìn)行有粉塵的作業(yè)。