低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。

閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵，它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵（圖）。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦，一級冷板溫度為50～100K，典型應(yīng)用是65K,用來冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體;二級冷板溫度為10～20K，用來冷凝氮、氧等氣體。在二級冷板的內(nèi)表面涂以活性炭?；钚蕴康谋缺砻娣e為500～2500米2/克，在低溫下對氦有很強(qiáng)的吸附能力。

現(xiàn)象如果發(fā)生在葉片的表面，則金屬材料因反復(fù)受到很高的沖擊應(yīng)力而被侵蝕，所以叫做氣蝕。氣蝕過程發(fā)生時，出口壓力激烈波動，流動的連續(xù)性遭到破壞，泵的流量急劇下降。氣蝕發(fā)生嚴(yán)重時，常常伴隨有氣堵現(xiàn)象。不過，不同于單純的氣堵現(xiàn)象之處在于：氣蝕要對泵造成嚴(yán)重?fù)p壞。一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于  帕。溫度為20K時，除氦和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于  帕。

要了解NPSH(凈正吸入壓頭)概念，要成功地設(shè)計一個好的低溫液體泵系統(tǒng)，此值要求在泵的吸入發(fā)蘭處，在各種情況下均能可靠地達(dá)到，此值應(yīng)高于流動介質(zhì)的蒸汽壓力。NPSH是泵進(jìn)口處的液體靜壓，與泵進(jìn)口處液體開始沸騰(飽和)的壓力之差，NPSH的值是隨流體介質(zhì)的不同、沸騰溫度的不同而變化的。由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。