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發(fā)布時間:2021-08-07 20:28  

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真空鍍膜設(shè)備的應(yīng)用

 1、真空鍍膜設(shè)備在信息存儲領(lǐng)域中的應(yīng)用

  真空蒸發(fā)鍍膜機薄膜材料作為信息記錄于存儲介質(zhì),有其得天獨厚的優(yōu)勢:由于薄膜很薄可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;車燈鍍膜機與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。

  2、 真空鍍膜設(shè)備在光學(xué)儀器中的應(yīng)用

  人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。






真空鍍膜設(shè)備在集成電路制造中的應(yīng)用

  1.晶體管路中的保護層(SiO2、Si3N4)、多弧離子鍍膜機電極管線(多晶硅、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。

  2.真空鍍膜設(shè)備在傳感器方面的應(yīng)用

  在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、高真空鍍膜機化學(xué)量及其變化來說,極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外,其中大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價格制作、因此采用薄膜的情況很多






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在高真空度的條件下,高純度的鍍層金屬(如鋁)在高溫下蒸發(fā)后會自由地飛散開并沉降在工件表面,形成鍍層。氣為保護性氣體,防止氧化反應(yīng)影響鍍層質(zhì)量。