流量控制器的穩(wěn)定控制時(shí)間

由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會(huì)發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時(shí)間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個(gè)容許范圍。舉個(gè)例子， 容許范圍2%表示流量波動(dòng)在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴(kuò)大到10%。我們認(rèn)為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。對(duì)于三氯化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時(shí)到達(dá)了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器

越來越多的朋友對(duì)氣體質(zhì)量流量計(jì)﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。怕粉塵,若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器,造成測(cè)量誤差,要求在進(jìn)氣口前加裝過濾器。

怎樣選擇流量顯示儀？

我們的流量顯示儀非常豐富，可供用戶選擇的余地很大。

我們有單通道（配接一臺(tái)MFM/MFC）和多通道（配接多臺(tái)MFM/MFC）產(chǎn)品；多通道產(chǎn)品中又有共用顯示和分別顯示之分（前者體積較小，價(jià)格稍便宜，但顯示需切換；后者體積較大，但顯示直觀）；有臺(tái)式﹑儀表式﹑和上架機(jī)箱式；然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢(shì)顯得重要。有輸入輸出只能是電壓信號(hào)的，也有電壓和電流信號(hào)都行的；多數(shù)產(chǎn)品使用交流220V電源，也有產(chǎn)品可使用交流110V電源；有MFC和MFM都能配的，也有單配MFM的。

還有流量積算儀可進(jìn)行瞬時(shí)流量和累積流量的顯示。

將流量顯示儀安裝在機(jī)柜上的用戶，請(qǐng)注意安裝的開孔尺寸。