氣體分析質(zhì)譜儀：主要有：呼氣質(zhì)譜儀、氦質(zhì)譜檢漏儀等。除以上分類外，還可以從質(zhì)譜儀所用的質(zhì)量分析器的不同，將質(zhì)譜儀分為雙聚焦質(zhì)譜儀、四極桿質(zhì)譜儀、飛行時間質(zhì)譜儀、離子阱質(zhì)譜儀、傅里葉變換質(zhì)譜儀等。氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）：在這類儀器中，由于質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀工作原理不同，又有氣相色譜-四極質(zhì)譜儀、氣相色譜-飛行時間質(zhì)譜儀、氣相色譜-離子阱質(zhì)譜儀等。離子源是質(zhì)譜儀的核心部件，其功能是提供合適的能量使樣品離子化，并使離子具有一定的能量。常用的離子源有電子轟擊源、化學(xué)電離源、快速原子轟擊源、激光電離源、電噴霧離子源等。

質(zhì)譜儀的日常維護(hù)，當(dāng)發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)漏氣時，必須找到漏氣點(diǎn)?？梢杂眠M(jìn)樣針吸取少量石油1醚，依次注射于進(jìn)樣口上部螺母、色譜柱兩端接頭和離子源前門處，并觀察43質(zhì)量數(shù)的峰高，如峰高明顯增大，說明該部位有漏氣。有機(jī)質(zhì)譜儀基本工作原理：以電子轟擊或其他的方式使被測物質(zhì)離子化，形成各種質(zhì)荷比（m/e）的離子，然后利用電磁學(xué)原理使離子按不同的質(zhì)荷比分離并測量各種離子的強(qiáng)度，從而確定被測物質(zhì)的分子量和結(jié)構(gòu)。質(zhì)譜儀又稱質(zhì)譜計。分離和檢測不同同位素的儀器。即根據(jù)帶電粒子在電磁場中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測物質(zhì)組成的一類儀器。

質(zhì)譜分析儀是按照離子的質(zhì)荷比(m/z)不同，分離不同分子量的分子，測定分子量并進(jìn)行成分和結(jié)構(gòu)分析的一種精密、的儀器。同位素質(zhì)譜分析法的特點(diǎn)是測試速度快，結(jié)果，樣品用量少（微克量級）。能測定元素的同位素比值。廣泛用于核科學(xué)，地質(zhì)年代測定，同位素稀釋質(zhì)譜分析，同位素示蹤分析。質(zhì)量分析器是將同時進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/e大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測器，采集放大離子信號，經(jīng)計算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。