淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良，并有完善的質量管理體系，可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。

關泵。

　　水環(huán)真空泵要停泵時，應先關閉真空泵吸氣管路上的閥門，防止真空泵停泵后恢復常壓狀態(tài)，所吸的容器還是負壓狀態(tài)時，水箱出現回水現象。關閉進水閥門后關閉電機，這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分，避免下次水環(huán)真空泵啟動時，泵腔內水過多而造成電機的啟動負荷過大。

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上游的吸附劑雖然在裝填時通過篩選等步驟去掉了大部分粉塵，但是隨著運行時間的增加和介質氣流的沖刷，總會或多或少地產生新粉塵，而進入水環(huán)式真空泵內的粉塵隨時可能進入機封的密封部位，對其造成損傷。

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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：

　　半導體真空泵應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路系統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。

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