凈棚主要由箱體、風(fēng)機(jī)、初效空氣過(guò)濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。該產(chǎn)品既可懸掛，又可地面支撐，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便?？梢詥蝹€(gè)使用，也可多個(gè)連接組成帶狀潔凈區(qū)域。?潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。?

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多，相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。

凈化棚風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)

凈化棚空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得，而首先需必須進(jìn)行風(fēng)量風(fēng)速的檢測(cè)。

1、選用套管法時(shí)，可用輕質(zhì)板材或膜材做成風(fēng)口內(nèi)截面相同或相近、長(zhǎng)度大于2倍風(fēng)口邊長(zhǎng)的直管段作為輔助風(fēng)管，連接于過(guò)濾器風(fēng)口外部，在套管出口平面上，均勻劃分小方格，方格邊長(zhǎng)不大于200mm，在方格中心設(shè)測(cè)點(diǎn)。對(duì)于小風(fēng)口，少測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于6點(diǎn)。也可采用錐形套管，上口與風(fēng)口內(nèi)截面相同或相近，下口面積不小于上口面積的一半，長(zhǎng)度宜大于1。5倍風(fēng)口邊長(zhǎng)，側(cè)壁與垂直的傾斜角不宜大于7.5度，以測(cè)定截面平均風(fēng)速，乘以測(cè)定截面凈面積算出風(fēng)量。

2、對(duì)于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長(zhǎng)的支管段且已經(jīng)或可以打孔時(shí)，可用風(fēng)管法通過(guò)畢托管測(cè)出動(dòng)壓，換算成風(fēng)量。測(cè)定斷面距局部阻力部件距離，在局部阻力部件后者，距離局部阻力不少于5倍管徑或5倍大邊長(zhǎng)度。在局部阻力部件前者，距離局部阻力不少于3倍管徑或3倍大邊長(zhǎng)度。

3、選用帶流量計(jì)的風(fēng)量罩法時(shí)，可直接得出風(fēng)量。風(fēng)量罩面積應(yīng)接近風(fēng)口面積。測(cè)定時(shí)應(yīng)將風(fēng)量罩口完全罩住過(guò)濾器或出風(fēng)口，風(fēng)量罩面積應(yīng)與風(fēng)口面積對(duì)，風(fēng)量罩邊與接觸面應(yīng)嚴(yán)密無(wú)泄漏。

4、對(duì)于矩形風(fēng)管，測(cè)定截面應(yīng)按奇數(shù)分成縱、橫列，再在每一列上分成若干個(gè)相等垢小截面，每個(gè)小截面宜接近正方形，邊長(zhǎng)不大于200mm，測(cè)點(diǎn)設(shè)于小截面中心。小管道截面上的測(cè)點(diǎn)數(shù)不宜少于6個(gè)。對(duì)于圓形風(fēng)管，應(yīng)按等面積環(huán)法劃分測(cè)定截面和確定測(cè)點(diǎn)數(shù)?？稍陲L(fēng)管外壁針對(duì)劃分的每行方格中心上開(kāi)孔，便于插入熱球風(fēng)速儀測(cè)桿或畢托管。用畢托管時(shí)應(yīng)先測(cè)定動(dòng)壓，然后確定風(fēng)量。