凈化工程氣壓規(guī)定：

　　對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室)，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風速的可行性。在我國，《空氣潔凈技術措施》和(潔凈廠房設計規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s

　　凈化工程解決方案：各種不同的加濕器的應用范圍不同：如：淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點是加濕量大、投資費用低，而相對濕度控制精度較差，因此多用于相對濕度要求不嚴格(>±10%)，加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調房間的空調系統(tǒng)加濕。5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕潔凈室的空調系統(tǒng)加濕中。

　　凈化工程解決方案：對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如：生物制藥、潔凈手術室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

凈化工程中空氣凈化處理方案：

　　凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。

　　空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端，高1效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。