種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設計方案。

集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。高水平的安徽潔凈車間凈化生產(chǎn)工藝對潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境要求非常嚴格。另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設計上就要有所要求。

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車間凈化在運行中消耗的能量主要包括:新風熱濕處理消耗的能量、系統(tǒng)風機運行消耗的能量，潔凈室運行的功率負荷是一般空調(diào)的3-30倍。為了凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能，我們應該從系統(tǒng)運行過程中消耗大量能源的項目入手。改變車間溫濕度凈化要求;減少排風量;適當降低靜壓;采用低阻空氣過濾器;非工作時間，使用值班風機運行，系統(tǒng)中的進、回風機關閉。機組所有進出管路全部保溫，閥門、接頭保溫要留出維護操作部位，如采用蒸汽盤管，在蒸汽管口處須安裝疏水器，排水通暢。盡量減少因風扇及電機溫升而導致的空氣處理所消耗的能源;為減少空調(diào)系統(tǒng)和空調(diào)的漏風，采取相應的有效措施和方法，達到節(jié)能運行的目的。

減少系統(tǒng)送風量：潔凈室內(nèi)的送風量較之一般恒溫恒濕空調(diào)房間內(nèi)的送風量大很多，設法減少系統(tǒng)的送風速度，可有效地節(jié)省處理空氣所耗用的能量，達到節(jié)能運行的目的；5、GMP江西無塵車間日常需要進行消毒滅菌，方法有很多，可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。在滿足工藝條件的前提下，將室內(nèi)橫斷面平均風速降低20%，此時房間的送風量大約可減少20%左右，這樣不僅減少了空氣處理所消耗的能量，而且也減少了輸送設備風機運行的耗電量。