先將有機廢氣用活性炭吸附，當快達到飽和時停止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。這樣既可以利用活性炭的吸附能力進行有機廢氣的凈化處理，又可以對活性炭進行脫附時刻保持活性炭的吸附能力。

無論哪一種形式產(chǎn)生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產(chǎn)生危險。由于對諸如氣態(tài)污染物的治理，一般要求在常壓下進行。

當廢氣進入催化氧化系統(tǒng)時，電加熱器將100Nm3/h空氣由常溫加熱到250℃，保證催化床層溫度（當催化氧化反應器入口溫度達到280℃時，電加熱器停止工作，當催化氧化反應器入口溫度低于250℃電加熱器再次開啟，由于進出催化氧化反應器的氣體經(jīng)過充分的熱交換，正常狀況下，電加熱器工作時間很短）。當有廢氣進入催化氧化系統(tǒng)時，VOCs氧化分解放出的熱量經(jīng)過氣氣換熱器回收，電加熱器不需要工作。

經(jīng)過電加熱器后的廢氣進入催化氧化反應器，氣體中的VOCs通過催化劑的催化作用，分解為二氧化碳和水。催化氧化反應器內(nèi)部床層設置四個溫度探頭，催化氧化反應器出口設置一個溫度探頭，當任何一個測量點溫度超過450℃時，冷卻空氣閥打開，補入冷空氣降低床層溫度（補風管線設置雙向防爆轟型阻火器）。當所有探頭溫度降到400℃以下時，冷卻空氣閥關(guān)閉。