無塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設備應注意的重點

a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。

c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產(chǎn)設備前應有過濾設備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。

3.自動化與無塵化：

a.設立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。

b.建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定，無塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵室管理規(guī)則等。

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無塵車間潔凈度等級劃分標準

ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.

為劃分等級,ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設計、技術(shù)要求、運行和控制中予以考慮.

在應用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中，電子行業(yè)對潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大，潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。在我國，電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。另外，平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，也是潔凈室相關(guān)供應商的重要用戶。據(jù)調(diào)查，世界上面積大的潔凈室即應用于平板顯示行業(yè)，一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。

潔凈技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感，因為它們能引起金屬層之間的短路。