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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用機床測頭系統(tǒng)就使得這一過程簡單快捷而準確可靠，我們只需將工件固定，然后使用機床測頭對定位基準（點、面、孔、軸、臺階、角）進行在機測量，便可迅速確定和更新機床加工坐標，整個過程只需幾十秒。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

校驗測針要注意的問題：

測針校驗后的校正直徑小于名義值，不會影響三座標測量機的測量精度。從以上所敘的校驗測針的原理中可知，標準球直徑值直接影響測針寶石球直徑的校驗值，雖然這是一個小概率事件，但是對初學(xué)者來說，這也有可能發(fā)生的。相反，還會對觸測和測針的變形起到補償?shù)淖饔?，因為我們在用三坐標測量機測量過程中測量軟件對紅寶石球半徑的修正（把測針紅寶石球中心點的坐標換算到觸測點的坐標），使用的是校正直徑而不是名義直徑。

氮化硅

氮化硅具有許多與紅寶石類似的特性。

這是一種非常堅硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球體。也可拋光為光滑的表面光潔度。

氮化硅與鋁之間沒有吸附性，因此不存在紅寶石測球在類似場合所發(fā)生的粘附磨損現(xiàn)象。但氮化硅在鋼材表面掃描時卻具有很顯著的磨擦磨損特性，因此其應(yīng)用限制在鋁質(zhì)工件上。