蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。

為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應保持地基水平，

結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍，

檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

 立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高，在高速運轉時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。

按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，