凈化工程中無(wú)塵車間對(duì)潔凈度的要求,空氣處理系統(tǒng)潔凈室的通風(fēng)一般是為了消除室內(nèi)的各種污染物。這樣做不僅是為了形成對(duì)產(chǎn)品和工藝安全的環(huán)境，也是為了形成使工作人員滿意的工作環(huán)境。無(wú)塵車間的通風(fēng)可用兩種不同的方法：傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)與單向氣流系統(tǒng)。在一般所使用的傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)中，送風(fēng)是由室內(nèi)不同位置的一個(gè)或多個(gè)過(guò)濾器(或其他種類的過(guò)濾器)完成的。單向流系統(tǒng)(也稱為層流系統(tǒng)LAF或UDF)中，是通過(guò)布滿整個(gè)吊頂(垂直流潔凈室)或整面墻(水平流潔凈室)的過(guò)濾器(或其他類型的過(guò)濾器)送風(fēng)。

無(wú)塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：不攜入,在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理； 2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。 4）機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。5）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。