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發(fā)布時(shí)間:2020-11-27 13:23  
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鈣鈦礦鍍膜設(shè)備
以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,今天我們來分享電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助!
設(shè)備用途 :
適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。廣泛應(yīng)用于有機(jī)、無機(jī)、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域
設(shè)備組成:
該設(shè)備主要由沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、蒸發(fā)源、樣品加熱、電控系統(tǒng)、等部分組成。
1、鍍膜室:方形前后開門結(jié)構(gòu),內(nèi)帶有防污板。
2、真空度:鍍膜室的極限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸發(fā)源系統(tǒng):有機(jī)源蒸發(fā)源4個(gè),無機(jī)蒸發(fā)源2套
4、樣品架系統(tǒng):樣品大小為Φ150mm的樣品,旋轉(zhuǎn)速度為:0~30轉(zhuǎn)/分;
5、樣品在鍍膜過程中,可烘烤加熱,加熱溫度為:室溫~190℃,測(cè)溫控溫。
6、膜厚控制儀:測(cè)量范圍0-999999?
鈣鈦礦蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)
1、樣品位于真空室上方,蒸發(fā)源位于真空室下方,向上蒸發(fā)鍍膜,且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。</span>
2、設(shè)有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品,烘烤加熱溫度可達(dá)180℃。
3、設(shè)有斷水、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。
以上就是關(guān)于電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容介紹,如有需求,歡迎撥打圖片上的熱線電話!