光波超精密——直線空氣靜壓導(dǎo)軌

根據(jù)檢測(cè)方法的不同，可以對(duì)導(dǎo)軌直線度進(jìn)行分類，對(duì)一般的導(dǎo)軌直線度，通常采用水平儀測(cè)距和橋板測(cè)距兩種方法，根據(jù)得到的一條近似于導(dǎo)軌實(shí)際線的誤差曲線，確定導(dǎo)軌直線度誤差。

但在測(cè)量高精度導(dǎo)軌直線度時(shí)，導(dǎo)軌本身的直線度等級(jí)會(huì)與檢測(cè)工具的直線度等級(jí)達(dá)到一個(gè)數(shù)量級(jí)，此時(shí)使用距法就不能將導(dǎo)軌與工具的直線度誤差分離，這時(shí)就需要一種不使用基準(zhǔn)的高精度測(cè)量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測(cè)誤差分離法”。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——直線空氣靜壓導(dǎo)軌

當(dāng)前導(dǎo)軌直線度的常用檢測(cè)方法有：

有基準(zhǔn)測(cè)量：將被測(cè)直線與選定的標(biāo)準(zhǔn)線相比較

無基準(zhǔn)測(cè)量：在被測(cè)表面上取一定量的測(cè)點(diǎn)，用某種方法處理測(cè)量數(shù)據(jù)

用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的導(dǎo)向裝置有：滑動(dòng)導(dǎo)向裝置、滾動(dòng)導(dǎo)向裝置和氣浮導(dǎo)向裝置?；壘雀?，承載能力強(qiáng)，但低速運(yùn)行時(shí)摩擦阻力大，容易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運(yùn)行，有逐漸被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢(shì)?，F(xiàn)在大多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)都采用安氣靜壓導(dǎo)軌，也叫氣浮式導(dǎo)軌，其優(yōu)點(diǎn)是制作簡(jiǎn)單，精度高，摩擦系數(shù)小，工作平穩(wěn)。

氣浮靜壓i軸承不同結(jié)構(gòu)尺寸的阻尼差異較大，在承載方向上阻尼較小，對(duì)外界引起的振動(dòng)和空氣軸承自身固有的微振動(dòng)衰減較慢，影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和測(cè)量精度，因此在設(shè)計(jì)出氣浮塊后，必須對(duì)其阻尼系數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)和評(píng)價(jià)。設(shè)計(jì)了一種測(cè)量計(jì)算氣浮阻尼的儀器。常規(guī)阻尼測(cè)量方法需要記錄氣浮振動(dòng)，并對(duì)計(jì)算阻尼進(jìn)行再分析，在記錄氣浮振動(dòng)的過程中，由于依靠氣浮塊的振動(dòng)來帶動(dòng)記錄筆，因此記錄結(jié)果誤差較大，因而所測(cè)阻尼結(jié)果誤差也較大。由于傳統(tǒng)的阻尼測(cè)量過程繁瑣，測(cè)量結(jié)果誤差較大，提出采用先進(jìn)的傳感器和分析儀進(jìn)行阻尼測(cè)量，測(cè)量結(jié)果接近真值，方法簡(jiǎn)便。其用途十分廣泛。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——直線空氣靜壓導(dǎo)軌

測(cè)得靜壓式導(dǎo)軌氣浮塊阻尼特性的試驗(yàn)檢測(cè)裝置，包括：沖擊式導(dǎo)軌1、加速度傳感器保護(hù)盒2、加速度傳感器3、氣浮塊4、模態(tài)分析儀5、工作臺(tái)6、氣源7、氣源減壓閥8、單向閥9、供氣壓力閥10、氣浮塊11；氣源7依次通過氣源減壓閥8、單向閥9與氣源減壓閥11連接；沖擊式導(dǎo)軌3、沖擊式導(dǎo)軌1與氣浮塊4連接；氣浮塊4放置在工作臺(tái)6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導(dǎo)軌1和沖擊式導(dǎo)軌1分別與加速度傳感器保護(hù)盒5連接；

大理石氣浮導(dǎo)軌對(duì)材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動(dòng)小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動(dòng)力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時(shí)要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時(shí)間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長(zhǎng)縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

光波超精密技術(shù)研究院——直線空氣靜壓導(dǎo)軌

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會(huì)輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強(qiáng)度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對(duì)于運(yùn)動(dòng)部分的材料,在密度上要小,保證由于測(cè)量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的測(cè)量機(jī)慣性力不會(huì)造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級(jí)的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測(cè)量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

直線導(dǎo)軌常簡(jiǎn)稱為導(dǎo)軌，它的作用是支承并引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)部件沿給定軌跡和行程作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌由兩個(gè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的部件組成，一個(gè)部件固定在機(jī)架上，稱為定軌，另一個(gè)在定軌上移動(dòng)，稱為動(dòng)軌。導(dǎo)軌多用于需要作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的執(zhí)行器。導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)性能在低速時(shí)要求平穩(wěn)、無爬行、定位準(zhǔn)確，高速時(shí)要求慣量小、無超調(diào)或振蕩。導(dǎo)軌的精度、承載能力和壽命對(duì)系統(tǒng)的精度、承載能力和壽命有直接影響。導(dǎo)軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導(dǎo)軌分為滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌、液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌、磁浮導(dǎo)軌?；瑒?dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，剛性好，摩擦阻力大，連續(xù)運(yùn)行磨損快，制造中軌面刮研工序的要求很高。

滑軌的靜摩阻力系數(shù)和動(dòng)摩阻力系數(shù)相差很大，所以在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)出現(xiàn)爬行現(xiàn)象?；壋Ｓ糜诟鞣N機(jī)床的工作臺(tái)或床身導(dǎo)軌，多為工作臺(tái)、滑臺(tái)、滑板、導(dǎo)靴、車頭支架等。軌道橫斷面有矩形，燕尾， V形，圓形等。在重型機(jī)械中，多個(gè)截面形狀經(jīng)常聯(lián)合使用，共同起著導(dǎo)向和支撐的作用。滾動(dòng)式導(dǎo)向是將滾動(dòng)式物體放置在運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件之間，例如滾珠、滾輪、滾針或滾動(dòng)軸承。滾動(dòng)式導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是：不會(huì)給滑動(dòng)式導(dǎo)軌帶來1/10的摩擦系數(shù)，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較小，不易發(fā)生爬行現(xiàn)象，可用小功率電機(jī)拖曳，定位準(zhǔn)確，使用壽命長(zhǎng)。