氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)：檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。

主要配置：檢漏儀分子泵。機(jī)械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。 放大器。質(zhì)譜模塊。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。筆者根據(jù)實(shí)測經(jīng)驗(yàn)，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)：檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。

氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。檢漏儀啟動時間：≤5min。響應(yīng)時間：≤1s檢漏口的。高壓力：1500Pa。電源要求：220v，50Hz，單相，10A。工作環(huán)境：5-35℃