壓差

這里根據(jù)潔凈度等級分2種情況：

1.相同潔凈度等級的潔凈室，壓差需要保持一致；

2.不同潔凈等級的潔凈室，相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa（這里主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，避免氣流倒灌）。

氣密性是廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計的一個關(guān)鍵。氣密性不良會導(dǎo)致凈化車間空氣的外泄和外界污染空氣的侵入，破壞凈化車間室內(nèi)環(huán)境的潔凈度。圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密質(zhì)量取決于墻、頂棚、門窗以及其他附加配件的構(gòu)造和施工，這些都是應(yīng)該引起重視的問題。

 機(jī)械過濾：

HEPA網(wǎng)，中文意思是空氣過濾器，達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾網(wǎng)，對于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%，HEPA網(wǎng)的特點是空氣通過，但小顆粒不能通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜組成，以形成用于放置和支撐過濾邊界的波狀墊片。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級，還需要保證能達(dá)到除靜電的效果。

 車間區(qū)域應(yīng)適應(yīng)研究，合理排水，平地，無積水，防滑，易清潔材料，無毒，防水等。只有細(xì)節(jié)有保證，工程才能保證標(biāo)準(zhǔn)。

物理凈化方法

吸附過濾即活性炭?；钚蕴渴且环N多孔含碳材料，具有高度發(fā)達(dá)的孔結(jié)構(gòu)，活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）完全接觸，這使得活性炭具有吸附性能，很容易達(dá)到吸收和收集雜質(zhì)的目的。

 氣密性是廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計的一個關(guān)鍵。氣密性不良會導(dǎo)致凈化車間空氣的外泄和外界污染空氣的侵入，破壞凈化車間室內(nèi)環(huán)境的潔凈度。圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密質(zhì)量取決于墻、頂棚、門窗以及其他附加配件的構(gòu)造和施工，這些都是應(yīng)該引起重視的問題。凈化車間的潔凈度級別通常分為：百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機(jī)房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機(jī)制造等行業(yè)中。