無(wú)塵車間的整體布局

物料凈化道路

各種物件在送入無(wú)塵區(qū)前有必要通過(guò)凈化處理，簡(jiǎn)稱;物凈。

物料凈化道路與人凈道路應(yīng)分隔，如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入無(wú)塵車間，也有必要分門而入，物料先通過(guò)粗凈化處理。

關(guān)于出產(chǎn)流水線不強(qiáng)的場(chǎng)合在物料道路中心可設(shè)中心庫(kù)。

如果出產(chǎn)流水線很強(qiáng)，則選用直通式物料道路，有時(shí)還需求在直通道路中心設(shè)屢次凈化、傳遞設(shè)備。

在體系規(guī)劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會(huì)吹落很多生微粒，所以相對(duì)無(wú)塵區(qū)應(yīng)堅(jiān)持負(fù)壓或零壓，如果污染危險(xiǎn)性大則對(duì)進(jìn)口方向也要堅(jiān)持負(fù)壓。

 無(wú)塵車間的建筑平面和空間布局，應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。潔凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重。無(wú)塵車間的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以100毫基本模數(shù)。對(duì)于無(wú)塵車間中的各種設(shè)備，在無(wú)塵進(jìn)入后，也要時(shí)常清潔滅菌，并且定期進(jìn)行檢查，防止無(wú)塵車間內(nèi)塵粒和微生物的產(chǎn)生、繁衍和滯留。無(wú)塵車間設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)政策方針，必須做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、保證質(zhì)量、節(jié)約環(huán)保等要求。

進(jìn)行凈化裝飾時(shí)，需要對(duì)門窗、建筑物、凈化空調(diào)、各種線路、照明燈具的結(jié)合部的間隙進(jìn)行密封處理。無(wú)塵車間內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)，受污染空氣的流動(dòng)達(dá)到程度，空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動(dòng)方向正確。 無(wú)塵車間是指控制產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。這個(gè)環(huán)境空間的設(shè)計(jì)和建造過(guò)程可以稱為凈化工程。