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發(fā)布時間:2021-01-14 18:20  
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在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題,要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。因此,必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流
同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。氣壓規(guī)定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則,潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素