凈化工程復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　潔凈隧道(Clean

Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域百1分百覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬級(jí)或十萬級(jí)。ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：

　　A.彈性擴(kuò)充容易;

　　B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析：對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī) FFU。實(shí)際上，相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精1、確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。總之，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

醫(yī)院手術(shù)室內(nèi)空氣凈化案例：

　　該空氣殺菌消毒凈化機(jī)放置于醫(yī)院的手術(shù)室，在手術(shù)前開啟臭氧功能和空氣凈化功能，手術(shù)時(shí)關(guān)閉臭氧功能就能使醫(yī)院的手術(shù)室達(dá)到手術(shù)室的潔凈度要求，而且沒有紫外線的消毒1殺菌存在死角的缺點(diǎn)，并可遙控控制，是醫(yī)院手術(shù)室的首先選擇消毒設(shè)備。手術(shù)室面積50平方米/100平方米/200平方米都有相應(yīng)的型號(hào)可以滿足。光學(xué)微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。

      無塵室溫濕度波動(dòng)大是不是和SCR有關(guān)系？

      判斷物品是否可以帶進(jìn)無塵室，主要依據(jù)是該物品的發(fā)塵量，是否持續(xù)發(fā)塵，以及是否容易附著灰塵。工具箱一般是金屬或塑料質(zhì)地，擦拭干凈后發(fā)塵量并不大，也不容易附著灰塵，所以一般是可以帶進(jìn)的。

      當(dāng)然具體情況還要看各個(gè)使用部門的規(guī)定，以及無塵室的級(jí)別。如果級(jí)別比較高的無塵室，應(yīng)該也是不可以的。級(jí)別低的無塵室可以帶入，但也應(yīng)該在使用完畢后及時(shí)帶出。