Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過(guò)的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒(méi)有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門(mén)的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

派瑞林parylene涂層在領(lǐng)域的特性

派瑞林涂層，不僅電性能，防護(hù)性能好，而且生物相溶性也好，它已通過(guò)美國(guó)FDA論證，滿足美國(guó)藥典生物材料VI類標(biāo)準(zhǔn)，被列為是一種可以在體內(nèi)長(zhǎng)期植入使用的生物材料。 派瑞林parylene涂層在領(lǐng)域的特性：可以抗酸堿腐蝕，可以抗溶解（在普通的溶劑中不會(huì)被溶解），抗凍性能強(qiáng)（低至-200℃），具有的屏障效果（低氣體滲透性），可靠性強(qiáng)，具有極高的絕緣強(qiáng)度，采用Parylene進(jìn)行涂層，可得到均勻一致，透明且極薄的膜層，能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊、裂縫，經(jīng)濟(jì)清潔、工序簡(jiǎn)單、速度快、批量處理能力強(qiáng)等

派瑞林涂層材料與派瑞林鍍膜加工有哪些優(yōu)勢(shì)？

      派瑞林它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號(hào)稱"無(wú)孔不入"可深入裂縫里和內(nèi)表面，被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今世界的防潮、防霉（零級(jí)）、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。派瑞林涂層材料與派瑞林鍍膜加工優(yōu)勢(shì)就是能夠保護(hù)橡膠/硅樹(shù)脂產(chǎn)品免受油、污垢和污染物的影響，提高潤(rùn)滑性。

      東莞菱威納米科技有限公司是一家技術(shù)先于的【派瑞林】鍍膜工程解決方案商，專注于【parylene派瑞林】納米鍍膜加工和技術(shù)服務(wù)。

        美國(guó)化學(xué)家Michael Szwarc在實(shí)驗(yàn)室合成了parylene薄膜，18年后的1965年科學(xué)家William F. Gorham發(fā)明了化學(xué)氣相沉積合成parylene膜的方法，并通過(guò)商業(yè)化parylene沉積設(shè)備使parylene膜獲得了實(shí)用價(jià)值，從此Parylene開(kāi)始蓬勃發(fā)展起來(lái)。

        Parylene的原理是用獨(dú)  特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面"生長(zhǎng)"出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號(hào)稱"無(wú)孔不入"可深入裂縫里和內(nèi)表面。這個(gè)家庭中基本的成員稱作Parylene,即聚對(duì)二，是一種完全線性的高度結(jié)晶結(jié)構(gòu)的材料。