無(wú)塵車間一般包括無(wú)塵區(qū)、準(zhǔn)無(wú)塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無(wú)塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法：

   外廊盤繞式：外廊能夠有窗和無(wú)窗，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

   內(nèi)廊式：無(wú)塵車間設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的無(wú)塵度等級(jí)一般都較高，乃至和無(wú)塵車間同級(jí)。

   兩頭式：無(wú)塵區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用房。

   中心式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠無(wú)塵區(qū)為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái)，這種方法避開室外氣候?qū)o(wú)塵區(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。

無(wú)塵車間的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形 狀等待征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。根據(jù)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)的要求，無(wú)塵車間必須考慮在設(shè)計(jì)和安裝時(shí)不要出現(xiàn)使用中難以清潔的部位。 進(jìn)行凈化裝飾時(shí)，需要對(duì)門窗、建筑物、凈化空調(diào)、各種線路、照明燈具的結(jié)合部的間隙進(jìn)行密封處理。

無(wú)塵車間是指控制產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。這個(gè)環(huán)境空間的設(shè)計(jì)和建造過程可以稱為凈化工程。無(wú)塵車間的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保溫層時(shí)。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。