湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

離子滲氮爐是將被處理的工件放置在真空容器中，在輝光放電條件下進行滲氮。離子滲氮爐是將被處理的工件放置在真空容器中，在輝光放電條件下進行滲氮。離子滲氮爐包括爐體、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測溫系統(tǒng)及控制系統(tǒng)所組成。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發(fā)狀態(tài)的Fe，并不斷向工件內(nèi)部擴散，從而達到滲氮的目的。

離子滲氮是在低真空含氮氣氛中，利用模具（陰極）和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進行滲氮的工藝，與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。由于離子氮化法不是依靠化學(xué)反應(yīng)作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。裝爐有嚴格要求，裝爐不妥或形狀不同、大小不同的零件混裝爐容易出現(xiàn)滲層不均勻等疵病，造成廢品或返修。因而，離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。

在運行的射頻輝光放電等離子體中，由于離子和電子遷移率的不同將導(dǎo)致陰極負偏壓的形成，在陰極表面建立一個直流負偏壓是進行射頻濺射工藝的必要條件。兩個面積相等的電極置于射頻輝光放電等離子體中，不可能建立陰極靶表面的負偏壓，不可能產(chǎn)生濺射。