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發(fā)布時間:2021-06-06 05:13  
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相對濕度在35%-40%之間能夠作為一個令人滿意的折中,半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度,包含腐蝕的進程,將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時,高濕度能夠使反響加速。幸運的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物,并阻止進一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護才能的,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
在無塵車間內(nèi)部的污染物質(zhì)就會因為互相吸附的重量掉到地上,從而降低空氣中的污染指數(shù),那么對于粉塵的控制和ru侵,我們需要做到哪些呢。在壓強上無塵車間需要遵守的原則如下:1、無塵車間的潔凈如果想要讓其壓強比相互接近的區(qū)域壓強變低。2、無塵車間相互連通的區(qū)域內(nèi)部的門戶需要朝向更別的潔凈空間。3、無塵車間內(nèi)部的氣體壓強需要比潔凈程度的壓強要高。

潔凈室的測試:1.送風(fēng)量與排風(fēng)量:如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制:為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動,必須檢測:(1)各區(qū)間的壓差正確;(2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動。3.過濾器檢漏:對過濾器及其外框要進行檢驗,以保證懸浮污染物不會穿過:(1)損壞了的過濾器;(2)過濾器與其外框間的縫隙;(3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。