用于表面缺陷檢測的AOI系統(tǒng)不能在檢測過程中，給被測件表面帶來缺陷（如粉塵、劃傷、靜電等）。因此，對于大型零件（如高世代的液晶玻璃基板、硅片等）的在線檢測，常常需要采取氣浮支撐、定位與傳輸機(jī)構(gòu)，運(yùn)動部件（如軸承等）采用自潤滑器件，以及利用FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組對檢測系統(tǒng)進(jìn)行環(huán)境凈化，并采取消靜電裝置，對工件進(jìn)行防靜電處理。

自動光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是根據(jù)底片檢查工藝特性，采用透射的模式即將需要檢查的底片放置在玻璃桌臺上,而不采用抽真空臺面，而是通過玻璃桌面的下的光束透過玻璃進(jìn)行對底片的掃描來檢查底片相應(yīng)位置上的缺陷。使用這種方法對底片進(jìn)行表面質(zhì)量的檢查,為更加清晰的將印制板表面缺陷呈現(xiàn)出來，對該系.統(tǒng)的放大裝置作“了很大的改進(jìn),達(dá)到了既是印制板表面的很小的缺陷都能檢查出來。當(dāng)在印制板生產(chǎn)過程中使用該系統(tǒng)時，就能將印制板面的5μm和5μm以下的缺陷檢查出來，并且能夠適當(dāng)?shù)膮^(qū)別錯誤的真假,就是采用高1級的識別系統(tǒng)大大的減少故障缺陷的發(fā)生。

在印制板的銅的表面檢查顯影后的圖形使用的更為普遍。對顯影后的圖形檢查，主要側(cè)重點(diǎn)檢查的是圖形的對準(zhǔn)程度和質(zhì)量缺陷，同時也可以通過對顯影圖形的檢查,也可以及時發(fā)現(xiàn)光具(底片)圖像是否有缺陷或其它如灰塵、劃傷或沾污，或曝光機(jī)存在的其它問題。使用AOI對表面圖形的檢查,就是利用圖形介于光敏抗蝕膜的顏色反射能力低和銅顏色反射能力高的差別進(jìn)行檢查。因?yàn)榭刮g劑層的顏色發(fā)暗，因此兩者比較容易好對比。

AOI設(shè)備屬于中小型精密機(jī)械，掌握操作方法和技巧不僅能夠發(fā)揮AOI設(shè)備的作用，還能對設(shè)備的壽命起到關(guān)鍵作用。因此操作工如何操作是一個科學(xué)的，謹(jǐn)慎的問題。這里，將從自有品牌AOI設(shè)備的操作上來介紹，如何操作為有利?！?

AOI設(shè)備操作工的工作主要有兩項(xiàng)，一，設(shè)備運(yùn)作;二，設(shè)備保養(yǎng)。這兩項(xiàng)雖然看似工作內(nèi)容不同，卻是相互關(guān)聯(lián)的。運(yùn)作不注意要領(lǐng)將影響設(shè)備養(yǎng)護(hù)，養(yǎng)護(hù)不到位，也將導(dǎo)致設(shè)備運(yùn)作出現(xiàn)問題。兩者的工作相互依賴不可分。