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發(fā)布時(shí)間:2021-06-30 06:56  
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原子層沉積是在一個(gè)加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種,化學(xué)吸附的過(guò)程直至表面飽和時(shí)就自動(dòng)終止,適當(dāng)?shù)倪^(guò)程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉積的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金屬,碳化物,復(fù)合結(jié)構(gòu),硫化物,納米薄層等。 中空納米管,隧道勢(shì)壘層,光電電池性能的提高,納米孔道尺寸的控制,高高寬比納米圖形,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層,納米晶體,ZnSe涂層,納米結(jié)構(gòu),中空納米碗,存儲(chǔ)硅點(diǎn)涂層,納米顆粒的涂層,納米孔內(nèi)部的涂層,納米線的涂層。