適用于各種材料的非接觸式三維表面分析NanoFocus測量系統(tǒng)能夠快速、有效地對幾乎所有材料——從金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、聚合物到有機材料——進行三維表面分析。共焦技術(shù)能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據(jù)。采用NanoFocus技術(shù)的μsurf、μscan和μsprint能夠在生產(chǎn)和加工的不同階段對敏感表面進行無損測量，透明涂層表面和層厚也可以同時測量。

無需樣品制備即可在幾秒鐘內(nèi)獲取真正的3D數(shù)據(jù)，進而對表面進行定性和定量的評估。NanoFocus為測量數(shù)據(jù)的分析提供了強大的綜合軟件解決方案以便確定相關(guān)參數(shù)。

全自動影像測量儀的使用環(huán)境： 1.避振如果影像測量儀受到額外的周圍振動，測量精度將會降低。當頻率小于10Hz時，周圍振動的振幅不應(yīng)該超過2μm（峰-峰差值）；當頻率在10Hz到50Hz之間時，則加速度不應(yīng)超過0.4Gal。如果振動超過這些限制，應(yīng)該采用防振措施（例如安裝振動阻尼器）。2.無塵影像測量儀構(gòu)成組件必須保證無灰塵。雖然防塵罩對影像測量儀有一定的防護作用，但測量儀仍應(yīng)定期清潔。3.電源使用90～264VAC，47-63Hz，10Amp下的穩(wěn)定電源，以確保儀器正常運行。

 三維表面形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標準方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。