無(wú)塵車(chē)間的原則:

無(wú)塵車(chē)間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高1效率的設(shè)計(jì)和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。無(wú)塵車(chē)間的平面安置能夠有以下幾種方法：外廊盤(pán)繞式：外廊能夠有窗和無(wú)窗，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。

無(wú)塵區(qū)內(nèi)各無(wú)塵車(chē)間的門(mén)，考慮到保持室內(nèi)壓力情況的需求，其開(kāi)設(shè)方向要朝向壓力大的房間，由于要靠壓力把門(mén)壓緊，這明顯和安全分散的要求相反。為了考慮平常無(wú)塵和緊迫分散時(shí)的兩方面要求，規(guī)則無(wú)塵區(qū)和非無(wú)塵區(qū)之間的門(mén)、無(wú)塵區(qū)與室外的門(mén)作為安全分散門(mén)對(duì)待，其敞開(kāi)方向一概朝向分散方向，當(dāng)然，單設(shè)的安全門(mén)也是如此。建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)與整個(gè)送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并應(yīng)易于除塵。安徽科林爾

無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的噪聲等級(jí)應(yīng)符合下列要求：

一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，潔凈廠房?jī)?nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)65分貝A。

二、空態(tài)測(cè)試時(shí)，亂流潔凈廠房的噪聲等級(jí)不宜大于58分貝A，層流潔凈廠房的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60分貝A。

三、無(wú)塵車(chē)間的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。

四、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過(guò)潔凈廠房允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專(zhuān)用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。

無(wú)塵車(chē)間照明照度要求比一般廠房高，室內(nèi)頂棚較矮，照明所消耗的能量大，普遍采用熒光燈作為光源是比較適合的。但是選擇不同種類(lèi)的熒光燈管，對(duì)提高光效、節(jié)約能量也是很重要的。選用電子鎮(zhèn)流器或節(jié)能電感鎮(zhèn)流器也可以達(dá)到節(jié)能的目的，熒光燈用電子鎮(zhèn)流器及節(jié)能電感鎮(zhèn)流器與傳統(tǒng)電感鎮(zhèn)流器相比，自身功耗小、能效因數(shù)高、可明顯節(jié)約電費(fèi)開(kāi)支，但價(jià)格高。風(fēng)管的制作與安裝所采用的板材、型材及其其他的關(guān)鍵成品材料，應(yīng)滿(mǎn)足設(shè)計(jì)規(guī)定，并需有出廠產(chǎn)品檢驗(yàn)合格證明材料。