工藝氣體種類多,純度高,并且有毒

工藝氣體種類多，純度高，并且有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進口成熟產(chǎn)品。因為 MOCVD 生長使用的源是、、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD 系統(tǒng)的設(shè)計思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。

半導(dǎo)體潔凈車間的施工工藝

裝修作為一種較為簡單的施工工藝，在半導(dǎo)體潔凈車間的裝修中，主要采用 輕鋼龍骨防水石膏板和鋁扣板的吊頂和輕鋼龍骨石膏板隔墻為主原料來完 成，主要的施工重點在于施工后期的刮膩子和漆的粉刷上，因為其順序和施工中的步驟性可決定后的工程質(zhì)量。

對于凈化車間的門的施工上，主要是因為靜壓差而存在的，目的是在于在門開或合的過程中以避免室外的空氣透過縫隙而進入凈化車間，因此，采取了有效的措施，就是在開門時，設(shè)置氣流向外流動，把進出人員帶進的污染空氣程度降低到;在施工過程中，需要注意門的接口上的平整度，需要定期檢查,以確保密封的效果。

潔凈工程隔墻裝修:除防火分區(qū)

潔凈工程隔墻裝修：除防火分區(qū)隔墻外，全部采用手工巖棉板，具體型號為：面壁鋼板厚度0.476mm；巖棉容重：100Kg/m3以上；材料寬度：1150mm，長度定制；板材整體厚度：50mm；耐火極限：30分鐘以上。隔墻采用巖棉板可承受低濕度房間板材收縮性。

潔凈工程地面裝修：更衣室采用部分木地板，以換衣?lián)Q鞋為分界線；參觀通道及入門大廳采用環(huán)氧樹脂自流平地面，厚度3mm（顏色淺灰）。入門大廳部分（二次精裝修設(shè)計部分，暫不含）。其余部分甲方已在地面施工中完成金剛砂地面，前期需注意地面防水層施工。