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發(fā)布時間:2021-10-01 08:22  

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發(fā)展真空技術(shù),助力半導體行業(yè)我國是世界大的半導體消費市場,但產(chǎn)業(yè)鏈整體價值水平較低,尤其是關(guān)鍵材料與核心設(shè)備和零部件方面,存在較大國外品牌依賴。例如,薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導體制造中關(guān)鍵工藝過程核心部件——磁懸浮分子泵,長期被國外壟斷。廣州潽拓光電——維修adixenATH1600M磁懸浮分子泵阿爾卡特分子泵產(chǎn)品,其大部分分子泵轉(zhuǎn)速在27000rpm,軸承為開放式軸承,需定期添加潤滑油脂,廣州潽拓公司使用原廠配件維修,保修周期一般為三個月,并免費提供技術(shù)服務。面對“卡脖子”問題,中科科儀積極響應國家需求,承擔科技部《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目,攻克多項關(guān)鍵技術(shù),于2011年成功研制國內(nèi)第i一臺磁懸浮分子泵,打破國外產(chǎn)品壟斷。varian真空分子泵用途