質量分析器：在離子源中產(chǎn)生的不同動能的正離子，在中加速，增加能量后在質量分析器將帶電離子根據(jù)其質荷比加以分離。質譜分析儀是按照離子的質荷比(m/z)不同，分離不同分子量的分子，測定分子量并進行成分和結構分析的一種精密、的儀器。無機質譜儀適用范圍包括元素周期表中絕大多數(shù)元素，分析速度快，便于進行固體分析；電感耦合等離子體質譜，譜線簡單易認，靈敏度與測量精度很高。

有機質譜儀基本工作原理：以電子轟擊或其他的方式使被測物質離子化，形成各種質荷比（m/e）的離子，然后利用電磁學原理使離子按不同的質荷比分離并測量各種離子的強度，從而確定被測物質的分子量和結構。質譜方法還可用于有機化學分析，特別是微量雜質分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結構提供可靠的依據(jù)。質譜儀真空泵的保養(yǎng)方法，檢查和清潔前置真空泵入口過濾器，旋開入口轉接器，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入口過濾器。

質譜儀能用高能電子流等轟擊樣品分子，使該分子失去電子變?yōu)閹д姾傻姆肿与x子和碎片離子。這些不同離子具有不同的質量，質量不同的離子在磁場的作用下到達檢測器的時間不同，其結果為質譜圖。質譜分析是先將物質離子化,按離子的質荷比分離,然后測量各種離子譜峰的強度而實現(xiàn)分析目的一種分析方法。無機質譜儀與有機質譜儀工作原理不同的是物質離子化的方式不一樣，無機質譜儀是以電感耦合高頻放電 (ICP)或其他的方式使被測物質離子化。