金剛石線切割設備

金剛石線切割設備成為研究和發(fā)展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設備研究的新進展以及國內發(fā)展狀況，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機的功能、特點和設計心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機應用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等)，在電子、光學及其它領域得到廣泛應用、，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產業(yè)、半導體、真空電鍍等高精端產業(yè)中。伴隨半導體、光伏材料技術的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。而金剛石線切割不存在導電的問題，其加工精度和粗糙度都大幅提升。

藍寶石切割

目前人們研究和應用較多的是截面為圓形的單根鋼絲的金剛石長切割線和環(huán)形電鍍金剛石切割線。電鍍金剛石長切割線是指采用電鍍的方法將金剛石磨料固結到金屬基體上形成的切割線，常用基體截面形狀為圓形，一般為0.12～0.5mm，主要用于硅晶體、藍寶石切割加工。此公司新開發(fā)的號稱高速切割機，線速度也僅達20m/sec，且環(huán)線周長較短，長度2。

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環(huán)形電鍍金剛石線

環(huán)形電鍍金剛石切割線是指將金剛石磨料電鍍到環(huán)形金屬基體上形成的切割線。該類切割線使用時一般纏繞到幾個導輪上進行單向循環(huán)切割，切割過程中無需換向，因此切割速度高。

環(huán)形電鍍金剛石切割線中的由單根鋼絲焊接成環(huán)形的切割線的線徑一般不大于1 mm，因此切縫較小，適合于硅晶體和藍寶石等比較貴重的硬脆材料的切割。

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?線切割設備

線切割設備的速度調整：

切割速度的大小不僅與材料的性質有關，與切割面的大小也有關系，同種材料切割時，被切面較大的切割速度設置就要相對較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡，因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時一般選用較慢的切割速度。電子科大,川大,交大,瑞仕萊斯等科研院校,從微觀分子結構入手,從本質上完善表面處理的原理和工業(yè)應用工藝的開發(fā)環(huán)形金剛石線鋸機在磁性材料的切割方面有著絕極大的優(yōu)勢，切割NeFeB,截面63*36mm用時6分鐘，進給速度5mm/min。