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發(fā)布時間:2021-10-10 05:35  
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對于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明:在P-N 結加偏壓,此時N阱的電子很容易擴散到P阱,而P的空穴也容易擴散至N然後與P端的空穴(或N端的電子)做 EHP Recombination。