昆山金斗云測(cè)控設(shè)備有限公司（GOC）是一家多元化科技型企業(yè)。GOC公司一直致力于設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)和故障診斷技術(shù)的產(chǎn)品研發(fā)，以創(chuàng)造工業(yè)預(yù)測(cè)維修的價(jià)值為宗旨。

動(dòng)平衡組件，包括外部激光轉(zhuǎn)速計(jì) 30-250000( 取決于傳感器 ) 5m 線纜 (1 套 )，傳感器延長(zhǎng)電纜 5M (2 根 )，轉(zhuǎn)速傳感器磁性快速安裝支架 (1 套 )，口袋電子秤 (1 個(gè) )。VIBER X5 硬箱可容納動(dòng)平衡組件。

瑞典VMI振動(dòng)分析儀VIBER X5規(guī)格說(shuō)明：

常規(guī)功能

頻譜測(cè)量

這個(gè)測(cè)量顯示出設(shè)備振動(dòng)的頻譜圖及時(shí)間波形，主要分析設(shè)備的不平衡、不對(duì)中、機(jī)械松動(dòng)等故障。

Viber X5? 組件：

   儀器主機(jī)（1 臺(tái)），儀器手帶（1 套），充電器（1 個(gè)），加速度傳感器/連接電纜/磁座（2 套），探桿（1 個(gè)），USB 通訊電纜（1 根），IP68 儀器箱（1 個(gè)）。

Viber X5? 動(dòng)平衡組件：

   激光轉(zhuǎn)速傳感器和5 米電纜（1 套），轉(zhuǎn)速傳感器磁性快速安裝支架（1 套），傳感器延長(zhǎng)電纜5M（2 根），口袋電子秤（1 個(gè)）。平衡組件可放置在儀器箱中。

瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀成功解決半導(dǎo)體行業(yè)光刻機(jī)機(jī)臺(tái)的振動(dòng)問(wèn)題

光刻機(jī)一般分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，精度為七納米至幾微米之間，光刻機(jī)是世界上精密的儀器，對(duì)振動(dòng)的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀所采用的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)為VC微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，VC微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)分為：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。對(duì)于潔凈室的光刻機(jī)設(shè)備的振動(dòng)要求機(jī)臺(tái)振動(dòng)必須滿足CV-D 6.25um/s RMS以下。全球名的光刻機(jī)制造商荷蘭ASML要求潔凈室的樓板及機(jī)臺(tái)振動(dòng)必須符合VC-D標(biāo)準(zhǔn)才能實(shí)施裝機(jī)，某名半導(dǎo)體制造商使用瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀進(jìn)行潔凈室的現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)采集，發(fā)現(xiàn)潔凈室樓板的振幅只能滿足VC-C12.5um/s RMS，無(wú)法滿足CV-D 6.25um/s RMS。通過(guò)瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀的頻譜分析功能，發(fā)現(xiàn)了振動(dòng)超標(biāo)的頻率并成功找到振動(dòng)源，經(jīng)過(guò)瑞典VMI振動(dòng)分析師的協(xié)助成功的解決了潔凈室樓板振動(dòng)。

瑞典VMI Viber X5振動(dòng)分析儀應(yīng)用于地面振動(dòng)檢測(cè)

許多工廠都有激光設(shè)備，例如芯片廠的光刻機(jī)等等。激光設(shè)備對(duì)振動(dòng)非常敏感，因此對(duì)放置激光設(shè)備的地面振動(dòng)要求非常高。通常我們會(huì)用地面微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)判斷放置激光設(shè)備的地面振動(dòng)是否符合微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)。瑞典VMI Viber X5振動(dòng)分析儀精度高達(dá)0.001μm/s 輕松檢測(cè)地面微振動(dòng)。