從大的方面來(lái)講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

凈化工程系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU）和循環(huán)空調(diào)機(jī)組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1 CP室凈化級(jí)別為7級(jí)，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，CP室工藝設(shè)備用酸量較多，采用全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU-3） 過(guò)濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-過(guò)濾器送風(fēng)-潔凈區(qū)。

2 ML室凈化級(jí)別為7級(jí)，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU） 循環(huán)機(jī)組（AHU） 過(guò)濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3 CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級(jí)別為6 級(jí)，換氣次數(shù)取為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU） 循環(huán)機(jī)組（AHU） 過(guò)濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

空氣凈化設(shè)備廠家闡述凈化工程的意義

一、對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的重要影響：室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是制約工業(yè)生產(chǎn)，特別是高科技生產(chǎn)能否進(jìn)行的關(guān)鍵因素之。例如，在微電子行業(yè)的芯片生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)微粒的控制達(dá)到分子級(jí)，否則生產(chǎn)就無(wú)法進(jìn)行，或者生產(chǎn)出次品;在kang菌素的年產(chǎn)環(huán)境中，如果存在某些微生物，生產(chǎn)就不能正常進(jìn)行。

二、對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響：生產(chǎn)環(huán)境是影響產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素之一。例如，感光膠片、集成電路、化學(xué)試劑、精密儀表和微型電機(jī)等產(chǎn)品，如果被粉塵玷污，就會(huì)降低質(zhì)量甚至報(bào)廢;在食品加工業(yè)中，微牛物的存在會(huì)縮短保質(zhì)期，降低產(chǎn)品質(zhì)量。

三、對(duì)生產(chǎn)效率的影響：環(huán)境對(duì)牛產(chǎn)效率的影響體現(xiàn)在以下方面：首先，良好的生產(chǎn)環(huán)境不僅可以保障生產(chǎn)人員的身心健康和出勤率，而且能夠提高他們的工作情緒和積極性;其次，良好的生產(chǎn)環(huán)境可以保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行，提高產(chǎn)品的成品率。

四、造成環(huán)境污染：眾所周知，環(huán)境污染主要是由于工業(yè)污染造成的。其中，大氣污染和水體污染力而對(duì)人們的健康造成影響，另一方面也會(huì)影響生產(chǎn)過(guò)程和產(chǎn)品質(zhì)量。