小型真空泵指的就是微型真空泵，因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續(xù)形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質(zhì)主要為氣體，體積小巧的一種儀器。

      旋片式真空泵漏油，可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭，定子部件與支座的通孔銜接處，氣鎮(zhèn)閥等部位?？捎擅芊饧匣?，裝置不當，運行時間久損壞，外表不平整，有雜質(zhì)，粗糙和鑄件疏松等引起。解決之道：放干凈泵內(nèi)的所有真空泵油，更換同類型的真空泵油，并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進入泵內(nèi)。假如停泵后返油，油會進入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會漏油。發(fā)生這些現(xiàn)象時可遂一檢查這些部位，如有損壞的更換即可。

      由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。