氦質譜檢漏儀特點

1，獨特的氣路設計，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間，有效防止氦污染。2，檢漏口配備：定制精密過濾裝置，可有效避免雜物顆?；蜚~粉進入儀器內部。3，多模式功能輸入、輸出，輕松連接各種自動化設備。4，機械與電路有效分開，避免了溫度、電磁場等彼此干擾，使檢漏儀運行更加穩(wěn)定、可靠。5，可檢漏率低，靈敏度高，檢測量程達到11級。

氦質譜檢漏儀的應用

（1）電子行業(yè)，微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)，管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業(yè)，鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

（4）制冷行業(yè)，冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。

（5）不銹鋼保溫器皿，真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（6）核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰級)、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發(fā)射電子，在離化室與燈絲之間的電場作用下，電子加速穿過離化室頂部狹縫進入離化室，在離化室中與氣體分子發(fā)生多次碰撞后損失能量，Z后打到離化室上形成電子流，成為發(fā)射電流的一部分。電子在運動的過程中碰撞氣體分子而使氣體分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電壓U(即離子加速電原)作用下，相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場對離子做的功轉變?yōu)殡x子的動能，便形成具有一定能量的離子束。