真空泵油的真空度參數(shù)受何影響：真空泵油是真空泵的關鍵所在，好的真空泵油往往能獲得更高的真空度和使用時長。對于真空泵油的真空度要看在不同溫度情況下的數(shù)值的，溫度越高，真空度的表現(xiàn)越穩(wěn)定的就是好的油品。

1.油位過低，應加足油量到油標中間線；

2.油被沾污，油質(zhì)變壞。應更換新油；

3.油的牌號不符，應換規(guī)定牌號的真空泵油；

4.油路不通，真空泵腔內(nèi)沒有保持適當?shù)挠土俊獧z查油路及油閥的進油量，保持油路暢通；

5.進氣口的過濾網(wǎng)被堵塞。應取下過濾網(wǎng)清洗干凈，再裝上去；

真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量。

裝配不當，使轉(zhuǎn)子軸心位移，造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。

因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規(guī)定的精度要求進行修復或更換。

真空泵運轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱，溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進行修理或更換。

光照法。在天氣晴朗的日子，用工具將潤滑油撩起，與水平面成45°角。對照陽光，觀察油滴情況，在光照下，可清晰地看到真空泵油潤滑油中無磨削為良好，可繼續(xù)作用，若磨削過多，應更換潤滑油。油滴痕跡法。取一張干凈的白色慮試紙，滴油數(shù)滴在濾試紙上，待潤滑油滲漏后，若表面有黑色粉末，用手觸摸有阻塞感，則說明潤滑油里面雜質(zhì)已很多，好的潤滑油無粉末，用手摸上去干而光滑，且呈黃色痕跡。

真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2)半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4)在化學工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶液造成污染，適合用干式真空泵；

5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。