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南京玻璃板性?xún)r(jià)比出眾【蘇州制版】

發(fā)布時(shí)間:2021-01-17 03:53  

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光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還廣泛的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見(jiàn)的光掩膜的種類(lèi)有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分,基板和不透光材料。其圖形結(jié)構(gòu)可通過(guò)制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫(xiě)式光刻設(shè)備,如激光直寫(xiě)光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等?;逋ǔJ歉呒兌龋头瓷渎?,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過(guò)濺射的方法鍍?cè)诓A路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。




在刻畫(huà)時(shí),采用步進(jìn)機(jī)刻畫(huà)(stepper),其中有電子束和激光之分,激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫(huà),邊緣起點(diǎn)5mm,與電子束相比,其弧形更逼真,線寬與間距更小。有將鉛活字排成活字版,以及用活字版打成紙型現(xiàn)澆鑄成凸版和將圖像經(jīng)照像或電子分色獲得底片,用底片曬制凸版、平版、凹版等一系列的制版方法。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有稱(chēng)為中間掩膜,reticle作為單位譯為光柵),用步進(jìn)機(jī)重復(fù)將比例縮小到master maks上,應(yīng)用到實(shí)際曝光中的為工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask復(fù)i制過(guò)來(lái)。




光刻掩膜版(又稱(chēng)光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱(chēng)掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。