流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質(zhì)量流量。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點是：當(dāng)自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8％，A類產(chǎn)品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計、加工和材質(zhì)。

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