進(jìn)入90年代，我國(guó)的一些清洗、鑄造等專業(yè)性書籍和雜志中，對(duì)該技術(shù)也只有簡(jiǎn)要性介紹。吹掃剝離在壓縮空氣作為動(dòng)力的環(huán)境下，其對(duì)脆化了的污物產(chǎn)生剪切力，引起機(jī)械斷裂，由于污物與被清洗物表面低溫收縮比差很大，在接觸面處產(chǎn)生應(yīng)力集中現(xiàn)象，污物在剪切力作用下剝離。90年代末期，國(guó)內(nèi)在引進(jìn)國(guó)外成套設(shè)備的同時(shí)引進(jìn)了干冰清洗設(shè)備。較早采用干冰清洗的上海汽車有色鑄造總廠從干冰清洗中獲得了巨大效益，有效的保障了鑄件質(zhì)量，提高了生產(chǎn)效率。近些年來(lái)，一些外資企業(yè)和大型國(guó)企也都陸續(xù)引進(jìn)或使用國(guó)外干冰清洗設(shè)備。

世界制造業(yè)逐步向中國(guó)轉(zhuǎn)移，我國(guó)《清潔生產(chǎn)促進(jìn)法》等法律業(yè)已出臺(tái)，大力推行清潔生產(chǎn)，重點(diǎn)發(fā)展資源利用率高、污染物產(chǎn)生量少的工藝、設(shè)備和技術(shù)替代物耗、能耗和污染物產(chǎn)生量大的落后工藝、設(shè)備和技術(shù)。從工藝的角度來(lái)看，任何清洗工藝的原則都是保證被清洗的工件不被損壞，保證工件的完整性。有關(guān)環(huán)境污染方面的立法也將對(duì)工業(yè)排放施加持續(xù)的更加嚴(yán)格的管制，要求企業(yè)進(jìn)行“清潔生產(chǎn)”。國(guó)家發(fā)改委2005年5月下發(fā)的《中國(guó)節(jié)水技術(shù)政策大綱》中明確指出“發(fā)展裝備清洗技術(shù)。推廣干冰清洗、噴淋清洗、不停車在線清洗等技術(shù)”。這些都為干冰清洗技術(shù)在我國(guó)的應(yīng)用推廣提供了良好的契機(jī)，干冰清洗技術(shù)將會(huì)得到更多的應(yīng)用和發(fā)展。

干冰作用速度對(duì)表面質(zhì)量的影響：干冰作用速度代表干冰噴嘴相對(duì)于靜止的封裝體單位時(shí)間內(nèi)移動(dòng)的距離，作用速度主要通過(guò)影響單位時(shí)間到達(dá)切割側(cè)壁表面的干冰顆粒數(shù)量和作業(yè)效率對(duì)處理效果產(chǎn)生重要影響。另外，“微孔”可以被打通，清洗干凈，這樣就不再需要人工來(lái)鉆通排氣孔。作用速度越小，表面單位面積單位時(shí)間受到的干冰顆粒數(shù)量越多，形成的顆粒力越強(qiáng)，表面雜質(zhì)越易受到剝離作用而去除。但是過(guò)小的速度不僅使作業(yè)效率降低，還會(huì)導(dǎo)致阻焊層破損嚴(yán)重。所以，控制好干冰作用速度對(duì)半導(dǎo)體封裝表面質(zhì)量改善效果意義重大。噴射角度主要影響阻焊層的破損率，這是因?yàn)槲⒘鸭y在 PCB 表面有一定的方向性，噴射角度越小， 微裂口方向與沖擊方向越垂直，阻焊層越容易沿著微裂方向形成大裂紋以致脫落；而噴射角度越大，微裂紋受到的沖擊力越平行于微裂口方向，微裂口受到的沖擊力越小，越不容易使裂紋擴(kuò)散變大。本實(shí)驗(yàn)封裝體樣品水平靜止放置，干冰噴嘴在其上方成不同角度進(jìn)行噴射，噴射角度對(duì)雜質(zhì)去除量的影響效果如圖6a 所示。噴射角度小于 70?時(shí)，表面 Cu 雜質(zhì)含量均較低，雜質(zhì)去除效果明顯；當(dāng)噴射角度大于 70?并繼續(xù)增加時(shí)，Cu 雜質(zhì)含量突然大幅度增加，接近未清洗時(shí)雜質(zhì)含量。

干冰清洗所去除的被鏟除物的去向？

至于被鏟除物的終究去向，因?yàn)楦杀逑词菤w于物理清洗，從原理上說(shuō)，被清洗物只剝離物體，而不能消失。干冰顆粒在千分之幾秒內(nèi)體積膨脹近800倍，這樣就在沖擊點(diǎn)造成“微型”。因而，它是“存在”的。那么被鏟除物去了什么地方呢？事實(shí)上，干冰使被清洗物急凍，構(gòu)成了龜裂，干冰在裂縫中脹大時(shí)，瞬間使被清洗物構(gòu)成微粒狀物，隨壓縮空氣吹散而剝離附著物件并分散在空氣之中。當(dāng)然，在清洗完畢之后，如沒(méi)有其他辦法，這些分散在空氣之中的微粒將像粉塵一樣沉降到清洗過(guò)的現(xiàn)場(chǎng)地面之上，這些粉塵可用吸塵的方法移走。