傳統(tǒng)過濾器因?yàn)樾屎蛪航祮栴}，不僅自身需要頻繁更換，且要消耗大量的風(fēng)能。而恒效運(yùn)行的自動(dòng)除塵凈化系統(tǒng)由于無需自動(dòng)過濾器，機(jī)組壓力適中保持在15-20Pa，不消耗風(fēng)能。例如：一個(gè)約有1120m3空間欲做10萬等級(jí)的無塵車間，采用新技術(shù)只要采用5.5KW主機(jī)(造的起，用得起)，傳統(tǒng)模式需18KW主機(jī)。新技術(shù)可以做到不更換任何耗材三年后檢測(cè)數(shù)據(jù)等同于新機(jī)效果，開機(jī)時(shí)間持續(xù)越長潔凈度越高，這是傳統(tǒng)技術(shù)無法比擬的。

　微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。

潔凈車間表面光滑，盡可能減少集塵面，輪廓簡(jiǎn)潔。潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)合理確定廠房的耐火等級(jí)、屋頂、墻面等材料的耐火極限以及防火通道的配置?？紤]到生產(chǎn)工藝、配風(fēng)、管道敷設(shè)、照明、建筑空間處理等因素，確定合適的斷面形式和層高，以節(jié)約能源，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，降低成本。清潔車間的內(nèi)部設(shè)計(jì)應(yīng)營造愉快的心理環(huán)境，減少抑郁的感覺。

為了防止交叉污染，首先需要對(duì)線路、管道系統(tǒng)、排氣管、原料處理和運(yùn)行過程進(jìn)行分析，以縮短移動(dòng)線路，避免交叉污染。操作人員、化學(xué)品、材料等線路不應(yīng)集中；車間周圍清潔，宜設(shè)置緩沖地帶；制造設(shè)備的進(jìn)出，對(duì)作業(yè)影響不大。一些空氣凈化系統(tǒng)中的空氣如果經(jīng)過處理后仍然不可避免地存在交叉污染，則無法回收：固體材料的粉碎、稱重、配料、混合、制備、壓片、包衣和填充；用有機(jī)玻璃精制的原料和藥品的精制和干燥。c溶劑；藥的生產(chǎn)區(qū)的病原體；身體操作區(qū)；生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)和揮發(fā)性氣體；用于固體口服制劑的顆粒、成品和干燥設(shè)備的凈化空氣。