常用的水冷式螺桿式冷水機組

潔凈室的冷熱源機組： 桿式冷水機組 螺桿式冷水機組是由螺桿式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機組 離心式冷水機組是由離心式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機構(gòu)和調(diào)節(jié)機構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機組。離心式冷水機組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，單機容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0.1微米級的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達(dá)300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。

九十年代初至今,是國內(nèi)潔凈技術(shù)與國際全國接軌,走向規(guī)范化的時

潔凈技術(shù)在中國的發(fā)展 在中國，潔凈技術(shù)的起步和奠基階段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中國建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的空氣過濾器通過鑒定，標(biāo)志了我國潔凈技術(shù)開始正式起步。同時，一此電子技術(shù)、精密機械和工業(yè)相關(guān)的設(shè)計院，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計。1965年建成的沈陽119廠和石家莊13所就是由三機部四院（現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計院）和四機部第二設(shè)計院（現(xiàn)中國電子工程設(shè)計院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級設(shè)計建設(shè)的。到七十年代末至八十年代末，這十年間，中國的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽光燦爛的發(fā)展階段，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個階段，如標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與國際交往方面；生物潔凈室在方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用；在產(chǎn)品研制與開發(fā)方面達(dá)到八十年代國外的技術(shù)水平等等。九十年代初至今，是國內(nèi)潔凈技術(shù)與國際全國接軌，走向規(guī)范化的時代。隨著中國經(jīng)濟始終保持穩(wěn)定的高速增長，國際投資持續(xù)注入，一批跨國集團在中國陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠因此國內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機會直接接觸國外別潔凈室的設(shè)計理念，了解世界的先進(jìn)設(shè)備和裝置、管理與維護等等。從這方面來看，的確從各個角度與國際日益接軌。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達(dá)1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。

抓住關(guān)鍵,加強工程審計環(huán)節(jié)的控制

抓住關(guān)鍵，加強工程審計環(huán)節(jié)的控制凈化工程項目的審計必須對工程項目整個施工生產(chǎn)活動的全過程進(jìn)行審計,工程項目的審計不僅要重視被審項目的事后審計及竣工審計，更要重視事前和事中審計，事前審計，可使凈化工程項目施工方案的編制更趨合理，并能幫助工程項目管理班子提前“把關(guān)”，有效地防止或避免可以預(yù)見的失誤。事中審計，即對施工階段中若干個過程所作的審計，對于后階段來講，則為面向未來，又屬事前審計，不過這種事前審計更有針對性、效益性，做好了，能達(dá)到事半功倍的效果。